플라즈마 기술 中企, 반도체 공정 소프트웨어 국산화

플라즈마 기술 中企, 반도체 공정 소프트웨어 국산화

미래창조과학부(장관 최문기)는 국가핵융합연구소(소장 권면)로부터 플라즈마 기술을 이전받은 국내 중소기업 경원테크(대표이사 서광원)가 반도체 핵심 제조공정에 필요한 소프트웨어의 국산화에 성공해 삼성전자에 공급한다고 밝혔다.

K-Speed는 플라즈마를 사용하는 반도체 식각 및 증착공정을 시뮬레이션하는 소프트웨어로, 경원테크는 핵융합(연), 표준(연), 전북대, 부산대 등과 산학연협력 연구를 통해 개발에 성공했으며, 최근 삼성전자 반도체연구소와 성능평가를 완료하고 소프트웨어 공급계약을 체결하게 됐다.

K-Speed 개발 성공으로 반도체 공정해석 기술의 본격적인 국산화가 가능하게 돼, 외국에 의존하고 있는 핵심기술의 한계를 극복할 수 있을 것으로 기대된다.

K-Speed는 GPU 기반의 병렬화 성공*을 통해 기존의 단일 CPU 기반 제품대비 100배 이상의 획기적인 계산시간 단축에 성공했으며, 기존 제품이 실제 반도체 공정에서 사용되는 복합가스가 아닌 단일가스만을 이용한 플라즈마를 해석하는데 반해 K-Speed는 실제 공정에 사용되는 복합가스의 반응을 정확하게 연산하는 것으로 확인됐다.

K-Speed는 더 빠르고 정확한 새로운 반도체 제조 공정개발과 반도체 구조개발 등의 신기술 개발 등에 활용될 수 있을 것으로 기대되며, 반도체 산업 소프트웨어 국산화를 통해 반도체 공정에서 발생할 수 있는 기술적 난제 해결을 위한 기반기술 확보와 외국 소프트웨어 사용으로 인한 국내 제조사 공정기술의 해외 유출을 방지해 국내 반도체 산업의 글로벌 경쟁력 확보에도 기여 할 것으로 예상된다.

또한, K-Speed 개발 성공은 정부 출연(연)의 기초연구과정에서 얻은 파생기술과 학계의 기초연구 역량을 바탕으로 중소기업 기술 지원 노력을 통해 산업화에 성공한 산학연 협력의 성과로 풀이된다.

이번 성공은 핵융합(연)의 ‘플라즈마 물성데이터 측정기술’ 등의 기술이전 및 산학연 협력을 통한 산업화 지원과 함께, 외국 소프트웨어의 단순 수입 및 배급역할에 안주하지 않고, 국내 기술력으로 세계 최고 수준의 소프트웨어 개발을 추진해 온 경원테크의 자기혁신 노력이 기반이 됐다는 평가다.

향후 다수의 국내외 기업으로의 판매가 예상되며, 경원테크는 K-Speed 판매로 200억원 이상의 매출을 목표로 하고 있다.

서광원 경원테크 대표는 “출연(연)과 지속적인 연구협력으로 국내외 반도체 공정해석 소프트웨어 시장에 진출할 수 있게 됐다”며“향후 반도체 공정에 사용하는 다양한 복합가스 모듈, 플라즈마 화학반응 모듈 등이 장착되는 시뮬레이터 기술을 핵융합(연)에서 이전받아 추가적인 현장 맞춤형 반도체 공정 소프트웨어 개발을 통해 국산화 기술 확보 및 세계 시장 진출 등에 노력할 것” 이라고 밝혔다.

오장윤 기자 wkddbs9090@daara.co.kr
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